TEM過(guò)濾器GasPro  TEM-160-24用于半導體行業(yè)

GasPro TEM-100系列

電拋光外殼過(guò)濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼，防止腐蝕和腐蝕粒子在內表面上堆積。

包裝外清潔度我們的加斯普羅? 清潔TEM-100過(guò)濾器，并在無(wú)塵室內包裝，不含有機成分處理包裝外、無(wú)顆粒和無(wú)化學(xué)品清潔度。終組件被清除用過(guò)濾氮氣進(jìn)行初始清潔。附加的預處理是可選的。

多種配件選項，便于安裝標準配件選項包括端面/墊片密封，壓縮、對焊和NPT。特殊配件，包括三夾（三葉草）衛生和法蘭類(lèi)型，可根據要求提供。

氦泄漏測試所有裝置均以1x10-9 atm cc/秒的速度進(jìn)行測試。

零件號、入口/出口配件、過(guò)濾介質(zhì)/外殼、其他材料、長(cháng)度（L）

TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口

PTFE/316L不銹鋼鋼聚丙烯

氟橡膠密封件*899.9毫米（35.43英寸）

TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm（34.0”）

TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm（37.25”）

TEM-160-24 1.5“三夾端889 mm（35.0”）

GasPro 過(guò)濾器TEM-150-24技術(shù)規格

GasPro?TEM-100在線(xiàn)高流量ePTFE濾器TEM-128-24

GasPro?TEM-100系列濾光片的設計波長(cháng)為3 nm顆粒截留率高達300 scfm，以及溫度敢達80C（176°F）。ePTFE膜（2.04m2/22.0平方英尺)帶著(zhù)

聚丙烯支撐結構封閉在不銹鋼316L外殼，具有的流動(dòng)性和穩定性耐化學(xué)性。使用標準Viton o形圈（其他o形圈材料可在重新測試時(shí)獲得）。TEM過(guò)濾器GasPro  TEM-160-24用于半導體行業(yè)

應用

?一般和工藝惰性氣體設施半導體、平板顯示器和其他高純度應用。

?用于關(guān)鍵平板工藝的氣體，包括襯底退火。

?關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣，包括：前開(kāi)口統一吊艙（FOUP）清潔和安裝光刻。

規格

?過(guò)濾等級我們的多孔ePTFE濾光片可提供有效的3納米濾光片顆粒保留。

?高工作溫度*80攝氏度（176華氏度）。

建議更換：在69C（156°F））以上運行6個(gè)月。

?大工作壓力在20°C（68°F）條件下為17.2bar（250 psig）。

?大正向流量壓差

20?C（68?F）：6.0bar（87磅/平方英寸）

80?C（176?F）：4.0bar磅/平方英寸）