GasPro™ 過(guò)濾器TEM-3715-8用于集成電路行業(yè)

TEM-3700超高純度鎳316L在線(xiàn)過(guò)濾3700超高純度鎳316L在線(xiàn)過(guò)濾

TEM-3771

TEM-3772

TEM-3773

TEM-3774

TEM-3775

TEM-37750

TEM-3711

TEM-3712

TEM-3713

TEM-3714

TEM-3715

TEM-3715-8

TEM-3750

TEM-3741

TEM-3742

TEM-3743

TEM-3744

TEM-3745

TEM-3745-8

TEM-37450

GasPro公司 TEM-3700系列過(guò)濾器

用于過(guò)濾超高壓半導體氣體當采用緊湊、全金屬、耐腐蝕設計時(shí)是必需的。這種全焊接組件將提供3nm需要低壓降時(shí)的顆粒滯留空間有限。

鎳介質(zhì)封裝在316L不銹鋼全焊接過(guò)濾器中，具有良好的烘烤特性用于快速干燥和在線(xiàn)鑒定。標準半導體工業(yè)配件用于易于安裝。

TEM-3700技術(shù)規格

•過(guò)濾等級有效的3 nm顆粒保留。

•高工作溫度惰性氣體中為200°C（392°F）。

•大工作壓力3700、3740、3370系列：20°C（68°F）時(shí)為206.8 bar（3000 psig）。

功能和優(yōu)點(diǎn)

•電拋光外殼過(guò)濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼，防止腐蝕和內表面上的顆粒堆積。

•包裝外清潔度

我們的GasPro™ 清潔TEM-3700過(guò)濾器包裝在無(wú)有機物的潔凈室中包裝外、無(wú)顆粒和無(wú)化學(xué)清潔度。凈化總裝用過(guò)濾氮氣進(jìn)行初始清潔。附加的預處理是可選的。

•施工

316L封裝的燒結鎳纖維介質(zhì)不銹鋼外殼。

•氦泄漏測試所有裝置均測試為1x10-9 atm cc/s。